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产品系列 |
CTD |
| 振镜参数 |
光斑 |
8 |
10 |
14 |
20 |
30 |
| 入光孔径 |
8mm |
10mm |
14mm |
20mm |
30mm |
| 最大扫描角度 |
±0.35Rad |
±0.35Rad |
±0.35Rad |
±0.35Rad |
±0.35Rad |
| 小步阶响应时间 |
≤0.22ms |
≤0.25ms |
≤0.30ms |
≤0.55ms |
≤0.80ms |
| 打标速度 |
5.5m/s |
4.5m/s |
3.2m/s |
2.5m/s |
1.5m/s |
| 定位速度 |
30m/s |
25m/s |
20m/s |
15m/s |
12m/s |
| 增益漂移 |
≤50PPM/℃ |
≤50PPM/℃ |
≤50PPM/℃ |
≤50PPM/℃ |
≤50PPM/℃ |
| 零点漂移 |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
| 8小时工作漂移 |
≤0.2mRad |
≤0.2mRad |
≤0.2mRad |
≤0.2mRad |
≤0.2mRad |
| 平均工作电流 |
5A |
5A |
5A |
5A |
5A |
| 峰值电流 |
10A |
10A |
10A |
10A |
10A |
| 重复精度 |
12μRad |
12μRad |
12μRad |
12μRad |
12μRad |
| 线性度 |
＞99.9% |
＞99.9% |
＞99.9% |
＞99.9% |
＞99.9% |
| 重量 |
（2.4±10%）KG |
（2.5±10%）KG |
（3.8±10%）KG |
（6.0±5%）KG |
（8.0±5%）KG |
| 伺服驱动板参数 |
供电电源 |
±15V/5A DC |
±15V/5A DC |
±15V/5A DC |
±24V/10A DC |
±24V/10A DC |
| 位置信号输入抗阻 |
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| 位置信号输入比例系数 |
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| 位置信号输出比例系数 |
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| 位置分辨率 |
16bit |
16bit |
16bit |
16bit |
16bit |
| 输入信号 |
数字信号 |
XY2-100 |
XY2-100 |
XY2-100 |
XY2-100 |
XY2-100 |
| 镜片反射波长 |
10600、1064、532、355 |
10600、1064、532、355 |
10600、1064、532、355 |
10600、1064、532、355 |
10600、1064、532、355 |
| 工作温度 |
25±10℃ |
25±10℃ |
25±10℃ |
25±10℃ |
25±10℃ |
| 水冷散热 |
水质要求 |
distilled water |
distilled water |
distilled water |
distilled water |
distilled water |
| 温度设定 |
25±3℃ |
25±3℃ |
25±3℃ |
25±3℃ |
25±3℃ |
| 最大水压 |
＜3bar |
＜3bar |
＜3bar |
＜3bar |
＜3bar |
| 水流量 |
＜6L/min |
＜6L/min |
＜6L/min |
＜6L/min |
＜6L/min |
