| |
产品系列 |
GTH(DH系列） |
| 振镜参数 |
光斑 |
8 |
10 |
14 |
| 入光孔径 |
8mm |
10mm |
14mm |
| 最大扫描角度 |
±0.35Rad. |
±0.35Rad |
±0.35Rad. |
| 小步阶响应时间（1%） |
≤0.25ms |
≤0.3ms |
≤0.41ms |
| 打标速度（f=160） |
4.0m/s |
3.9m/s |
2.8m/s |
| 定位速度 |
16m/s |
16m/s |
12m/s |
| 增益漂移 |
≤80PPM/℃ |
≤80PPM/℃ |
≤90PPM/℃ |
| 零点漂移 |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
| 8小时工作漂移 |
≤0.5mRad. |
≤0.5mRad. |
≤0.6mRad. |
| 平均工作电流 |
3A |
3A |
5A |
| 峰值电流 |
9A |
9A |
10A |
| 重复精度 |
10μRad |
≤10μRad. |
10μRad |
| 线性度 |
≥99% |
≥99% |
≥99% |
| 重量 |
（1.6±5%）KG |
（1.6±5%）KG |
（2.1±5%）KG |
| 伺服驱动板参数 |
供电电源 |
±15V/3A DC |
±15V/3A DC |
±15V/5A DC |
| 位置信号输入抗阻 |
1KΩ±1% |
1KΩ±1% |
1KΩ±1% |
| 位置信号输入比例系数 |
0.5V/° |
0.5V/° |
0.5V/° |
| 位置信号输出比例系数 |
0.5V/° |
0.5V/° |
0.5V/° |
| 位置分辨率 |
16bit |
16bit |
16bit |
| 输入信号 |
数字信号 |
XY2-100 |
XY2-100 |
XY2-100 |
| 镜片反射波长 |
10600、1064、532、355 |
10600、1064、532、355 |
10600、1064、532、355 |
| 工作温度 |
25±10℃ |
25±10℃ |
25±10℃ |
