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产品系列 |
CTC |
| 振镜参数 |
光斑 |
8 |
10 |
14 |
20 |
30 |
| 入光孔径 |
8mm |
10mm |
14mm |
20mm |
30mm |
| 最大扫描角度 |
±0.35Rad |
±0.35Rad |
±0.35Rad |
±0.35Rad |
±0.35Rad |
| 小步阶响应时间 |
≤0.2ms |
≤0.25ms |
≤0.45ms |
≤0.75ms |
≤1.0ms |
| 打标速度 |
4m/s |
3.5m/s |
2.5m/s |
1.2m/s |
0.8m/s |
| 定位速度 |
18m/s |
17m/s |
12m/s |
8m/s |
5m/s |
| 增益漂移 |
≤50PPM/℃ |
≤50PPM/℃ |
≤50PPM/℃ |
≤50PPM/℃ |
≤50PPM/℃ |
| 零点漂移 |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
≤30μRad/℃ |
| 8小时工作漂移 |
≤0.2mRad |
≤0.2mRad |
≤0.2mRad |
≤0.2mRad |
≤0.2mRad |
| 平均工作电流 |
5A |
5A |
5A |
5A |
5A |
| 峰值电流 |
10A |
10A |
10A |
10A |
10A |
| 重复精度 |
12μRad |
12μRad |
12μRad |
12μRad |
12μRad |
| 线性度 |
＞99.5% |
＞99.5% |
＞99.5% |
＞99.5% |
＞99.5% |
| 重量 |
（1.7±5%）KG |
（1.8±5%）KG |
（3.3±5%）KG |
（6.0±5%）KG |
（8.0±5%）KG |
| 伺服驱动板参数 |
供电电源 |
±15V/5A DC |
±15V/5A DC |
±15V/5A DC |
±15V/5A DC |
±15V/5A DC |
| 位置信号输入阻抗 |
\ |
|
|
|
|
| 位置信号输入比例系数 |
0.5V/° |
0.5V/° |
0.5V/° |
0.5V/° |
0.5V/° |
| 位置信号输出比例系数 |
0.5V/° |
0.5V/° |
0.5V/° |
0.5V/° |
0.5V/° |
| 位置分辨率 |
16bit |
16bit |
16bit |
16bit |
16bit |
| 输入信号 |
数字信号 |
XY2-100 |
XY2-100 |
XY2-100 |
XY2-100 |
XY2-100 |
| 镜片反射波长 |
10600、1064、532，355 |
10600、1064、532，355 |
10600、1064、532，355 |
10600、1064、532，355 |
10600、1064、532，355 |
| 工作温度 |
25±10℃ |
25±10℃ |
25±10℃ |
25±10℃ |
25±10℃ |
| 水冷散热 |
水质要求 |
distilled water |
distilled water |
distilled water |
distilled water |
distilled water |
| 温度设定 |
25±3℃ |
25±3℃ |
25±3℃ |
25±3℃ |
25±3℃ |
| 最大水压 |
＜3bar |
＜3bar |
＜3bar |
＜3bar |
＜3bar |
| 水流量 |
＜6L/min |
＜6L/min |
＜6L/min |
＜6L/min |
＜6L/min |
